半導體行業(yè)物流的AGV小車(chē)控制系統是指在物料離線(xiàn)流轉過(guò)程中用于降低人工操作程度的AGV硬件和軟件系統，又包括信息自動(dòng)化和物流設備自動(dòng)化兩個(gè)部分。信息自動(dòng)化與工藝步驟的執行過(guò)程相關(guān)，包括制造執行系統（manufacturing execution system, MES）、信息通訊、工藝設備工作狀態(tài)監測（用于工作程序和工藝過(guò)程管理）、物料識別和追蹤等等。物流設備自動(dòng)化通常和傳統流水線(xiàn)，自動(dòng)立體庫，AGV小車(chē)等其他傳送相關(guān)的執行器，包括如何將其運送到工藝設備端或者在不同的存儲區域之間進(jìn)行調度，以及晶片在工藝設備內部的傳送（包括物料緩沖區，裝載端口，晶片傳送機械手臂等）。

從整個(gè)工廠(chǎng)的角度來(lái)看，許多設備內部的自動(dòng)化晶片傳送部件也可以被定義為信息自動(dòng)化系統中設備控制和管理功能的一部分。除了WIP自動(dòng)傳送外，AGV傳送自動(dòng)化也是傳送系統自動(dòng)化的一項內容，它已成為現代化半導體工廠(chǎng)自動(dòng)化系統中較大的單項投資項目。通過(guò)過(guò)去幾年的經(jīng)驗顯示信息自動(dòng)化可以大大推動(dòng)產(chǎn)品成品率的提高，因為信息自動(dòng)化可以大大提高設備管理水平、進(jìn)行工藝數據收集和統計工藝控制、保證物流控制更加順利，同時(shí)還可以提高物料送達的準確率，從而減少誤操作和返工現象。此外，信息自動(dòng)化還可以改善WIP的直觀(guān)監控，實(shí)現實(shí)時(shí)調度AGV及人員，提高生產(chǎn)速度。經(jīng)驗證明對物流信息自動(dòng)化進(jìn)行投資可以增加附加價(jià)值。

過(guò)去，物流自動(dòng)化的作用在于保證工藝設備有事可做，維持足夠的WIP流向下一道工序并且使WIP順利地傳送到下一區域，通常采用人工傳送和存儲WIP的運作模式。Intrabay更加復雜的傳送和存儲則通過(guò)操作工人按照信息自動(dòng)化系統的指示來(lái)完成，從而在合適的時(shí)間將合適的WIP傳送到合適的設備上?，F在一部分半導體企業(yè)已經(jīng)啟用有提供的AGV物流系統自動(dòng)化取代了操作工人的長(cháng)距離搬送。

人工WIP處理已經(jīng)被AGV自動(dòng)化傳送系統所取代，包括所有工藝設備之間的傳送、存儲和分發(fā)。AGV中控系統主要用于滿(mǎn)足MES下一道工藝對加工物料的需求。此外，可以通過(guò)AGV控制軟件對物料存儲、管理和傳送路線(xiàn)進(jìn)行優(yōu)化?，F在的的AGV系統已經(jīng)從上一代“下一道工藝步驟”響應系統發(fā)展到較大程度減少設備空閑時(shí)間、提高生產(chǎn)速度、縮短生產(chǎn)周期和實(shí)現生產(chǎn)目標的先進(jìn)系統。